等離子體清洗的機理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。就反應機理來(lái)看，等離子體清洗通常包括以下過(guò)程：無(wú)機氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團與固體表面分子反應生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應殘余物脫離表面。

　　為保證銅引線(xiàn)框架即銅支架在打線(xiàn)和封塑時(shí)可靠性，提升良率，通常會(huì )使用等離子清洗機對銅支架進(jìn)行等離子清洗，其等離子處理的效果受多重因素影響，以往大家關(guān)注會(huì )集中在銅支架自身以及所選用的等離子清洗機設備及參數。但其實(shí)料盒本身的幾方面因素也會(huì )對等離子處理的效果有不小的影響。

　　1、規格尺寸

　　不同規格尺寸的銅引線(xiàn)框架所對應使用的料盒尺寸也是不同的，而料盒尺寸對等離子清洗處理的效果有一定關(guān)系，通常來(lái)說(shuō)，料盒的尺寸越大，等離子體進(jìn)入料盒內部的時(shí)間就會(huì )越長(cháng)，對等離子處理的均勻性及效果有所影響。

　　2）間距大小

　　這里所談及的間距主要是指每層銅引線(xiàn)框架之間的距離，間距越小，等離子清洗銅引線(xiàn)框架的效果和均勻性會(huì )相應地變差。

　　3）槽孔特點(diǎn)

　　將銅引線(xiàn)框架放入料盒進(jìn)行等離子清洗處理，假如四面不開(kāi)槽，就會(huì )形成遮擋，等離子體很難進(jìn)入，影響處理的效果，與此同時(shí)還需要的是屏蔽效應、開(kāi)槽孔的位置、槽孔大小。

　　此外，料盒的蓋子是不是要蓋，以及什么時(shí)候蓋，這些都對等離子清洗效果有影響。