我們一說(shuō)到
等離子清洗機，大家首先會(huì )想到技術(shù)比較成熟的設備，主要分為電容耦合設備(CCP)和電感耦合設備(ICP)，而微波設備相對比較少見(jiàn)。但隨著(zhù)近年來(lái)國內半導體產(chǎn)業(yè)和新材料等領(lǐng)域的迅猛發(fā)展，微波等離子體表面處理技術(shù)也越來(lái)越受到重視。
工業(yè)應用的微波清洗機一般都屬于表面波型，其工作模式是通過(guò)輻射微波電磁場(chǎng)直接將氣體擊穿實(shí)現放電，一般要求放電氣壓高，因為沒(méi)有離子的加速作用，其電子密度較高，對于有機物的去除和材料表面活化的效率是比較高的。
下面的進(jìn)入正題，等離子清洗機與超聲波清洗機的主要區別到底在哪里呢？
1、主要區別等離子清洗是干式清洗，超聲波清洗是濕法清洗，在經(jīng)過(guò)等離子清洗以后，被清洗物體已經(jīng)很干燥，不必再經(jīng)干燥處理即可送往下道工序。
2、等離子清洗在完成清洗去污的同時(shí)，還能改變材料本身的表面性能，如提高表面的潤濕性能，改善膜的附著(zhù)力等，這在許多應用中都是非常重要的。
3、雖然該設備表面上比超聲波清洗機更加智能化，但是還有很多缺點(diǎn)需要提示，比如放電氣壓高帶來(lái)的問(wèn)題是等離子體局域化比較嚴重，縱深清洗比較差，不利于多層面的大尺度的清洗處理，而且微波電磁場(chǎng)對電子元器件多少會(huì )有一定電磁輻射作用，有可能會(huì )造成電子元器件的擊穿損傷，最后就是設備造價(jià)高，維修保養不是很方便。
