等離子清洗機是等離子表面改性的其中較為常見(jiàn)的一種方式。它采用不銹鋼材質(zhì)的腔體，內置電極板不產(chǎn)生污染其他結構，如艙體、閥體，管路采用耐用防腐蝕材料。適用于實(shí)驗室科研、小批量生產(chǎn)，是小部件納米清洗、表面活化、表面改性等，如下：
1.表面清潔；
2.表面活化；
3.鍵合；
4.去膠；
5.金屬還原；
6.表面刻蝕；
7.去除表面有機物；
8.疏水實(shí)驗；
9.鍍膜前處理等。
等離子清洗機的優(yōu)點(diǎn)在哪里？
1、采用電容式等離子激發(fā)，產(chǎn)生的等離子體分布均勻，能確保材料處理過(guò)程效果好及可重復性；
2、采用彩色觸摸屏+PLC全自動(dòng)控制,根據處理不同的材料設置在線(xiàn)清洗功能，修改監控真空壓力，處理時(shí)間，等離子功率等工藝參數。傻瓜式設備，操作簡(jiǎn)單快捷，可一鍵啟動(dòng)，連續重復運行，J確控制試驗時(shí)間、真空度、功率等重要參數,程序內設多項安全保護，防止誤操作，對人和儀器做到最大保護；
3、設備具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式任意切換，手動(dòng)模式用于實(shí)驗工藝的模擬及設備維護校準。
4、可預置多個(gè)實(shí)驗參數，簡(jiǎn)化操作，提高效率。編好程序自動(dòng)完成整個(gè)實(shí)驗過(guò)程；
5、使用成本低，無(wú)需進(jìn)行特殊維護，在日常使用中保持儀器清潔即可。
從機理上看等離子清洗機在清洗時(shí)，利用工作氣體在電磁場(chǎng)的作用下所激發(fā)的等離子與物體表面產(chǎn)生物理反應和化學(xué)反應。其中物理反應機制是活性粒子轟擊材料表面，使污染物脫離表面而被真空泵吸走；化學(xué)反應機制是各種活性的粒子和污染物反應生成易揮發(fā)性的物質(zhì)，再由真空泵吸走從而達到清洗目的。
